(2023年4月1日)
工業ガスユニットガス事業部長（ガス営業部長）中村悟郎
工業ガスユニットガス事業部ガス営業部長、鈴木秀臣
電子機材ユニット電子機材ガス事業部長（電子機材ガス営業部長）千葉賢治
電子機材ユニット電子機材ガス事業部国内営業部長、大倉寛信
電子機材ユニット電子機材ガス事業部特殊ガス技術部長、技術統括ユニットグローバル技術統括部技術支援部長、柿木一大
電子機材ユニット電子機材ガス事業部企画部長、技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長、富田修康
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(2018年4月1日)
開発本部技術サポートセンター所長（プロジェクト推進統括部長）副本部長、佐藤豊幸
開発本部山梨研究所長（開発事業企画統括部長兼技術サポートセンター所長）武内雅弘
開発本部プロジェクト推進統括部長（山梨研究所長）中村章寛
開発本部開発事業企画統括部長（業務推進部長）能瀬憲宏
開発本部開発事業企画統括部業務推進部長、牧野宏治
山梨研究所ガス分離技術部長（プロジェクト推進統括部ＰＳＡプロジェクトマネジャー）国分磨希也
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