(2018年7月1日)
安全保障輸出管理・内部統制構築準備担当、取締役兼執行役員常務兼ＣＦＯ、丑田健滋
経営企画統括部門長代理（経営管理統括部長）吉竹昭博
経営企画統括部門長代理（経営企画室長）中野律子
経営企画室長、Ｓプロジェクト事業推進統括グループリリーダー、中島弘雅
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(2016年4月1日)
マーケティング統括部長、取締役兼執行役員常務ＣＭＯ第一事業本部長、野崎勉
第一事業本部事業企画統括部長、金谷敏宏
第二事業本部ハイパフォーマンスＳｏＣ事業部長（ハイパフォーマンスＳｏＣ事業部長代理）鈴木寿哉
第三事業本部事業企画統括部長、西道佳人
第三事業本部ミルビュー事業部長（ミルビュー事業部長代理）小松悟
経営企画・財務経理担当統括部門長、財務経理統括部長、安藤慎一
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(2015年3月2日)
会長兼ＣＥＯ、西口泰夫
社長兼ＣＯＯ、井上あまね
取締役兼執行役員常務兼ＣＦＯ財務経理・監査担当、丑田健滋
同兼執行役員常務兼ＣＴＯ経営管理・共通技術・品質保証担当、岡本吉史
同兼執行役員常務第一事業本部長、野崎勉
同兼執行役員常務第二事業本部長、三宅富
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(2013年7月1日)
ＣＦＯビジネス改革推進本部副本部長、取締役兼執行役員常務兼ＣＳＯ経営推進本部長、曲渕景昌
ビジネスマネジメント本部長、執行役員製造本部副本部長兼品質保証本部長、河野通有
イメージングＳＬ事業部長、同アドバンストプロダクト事業本部副本部長兼ビジネス改革推進本部先端ファブビジネス改革推進室長、三宅富
経営推進本部長代理、ビジネス推進室長、花岡寿公
ビジネスマネジメント本部長代理、アドバンストプロダクト事業本部長代理、小野村浩一
同本部計画室長（アドバンストプロダクト事業本部事業企画統括部長）矢田知寛
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