(2015年6月24日)
常勤監査役、元田直邦
監査役、今村憲
相談役（常勤監査役）小川克真
退任（取締役）坂本広徳
同（監査役）山田昭
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(2012年4月1日)
代表取締役国内・海外事業担当（取締役事業本部長）副社長執行役員、橘勝義
調達・生産担当（生産本部長兼購買担当）取締役兼執行役員、坂本広徳
事業本部長（事業本部長代理兼太陽電池事業・事業本部エンジニアリング室担当）取締役兼執行役員、田中敏治
事業本部装置事業部長兼第二装置（第一事業部長）執行役員、藤原五男
新事業開発担当（技術本部新商品開発担当）同、平賀靖英
事業本部長代理（管理本部人事）同、大田謙次
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