(2021年11月1日)
プロセス開発本部長（技術開発本部長）金山健司
プロセス開発本部第一プロセス開発（量産設計本部第三設計）南政克
プロセス開発本部第二プロセス開発（技術開発本部要素技術開発）高沢裕真
プロセス開発本部第三プロセス開発（技術開発本部プロジェクトリーダ）湯浅和宏
プロセス開発本部要素プロセス開発、広瀬義朗
システム開発本部長（量産設計本部長兼製品戦略プロジェクトリーダ）富山事業所長代理、小竹繁
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(2018年4月1日)
電子機械事業部事業戦略本部事業企画部長、石黒認
電子機械事業部グローバルサービス統括本部長、グループ運営戦略室長、内野敏幸
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング本部長、矢野雅彦
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング部長、高道健
生産統括本部量産設計本部第三成膜装置設計部長、竹林雄二
生産統括本部製造本部生産技術部長、高島克美
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(2013年4月1日)
戦略法務室長、本部長兼法務・ＣＳＲ本部長兼法務室長兼秘書室長、堀内啓
広報・渉外室長、長岡実
経営戦略室長、関忠彦
情報Ｓ統括本部副本部長、谷口茂樹
営業本部副本部長、アジア営業・、塚田和徳
同本部拡販営業、大川晃
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(2012年4月1日)
設計本部長（映像・通信事業部企画本部製品戦略・企画）石川哲章
同本部設計管理（羽村工場生産企画）日野川昌男
同第一設計、岡部浩一
製造、菊池康隆
企画本部技術開発（研究開発本部情報通信システム研究所通信映像システム兼企画）浅野勝洋
同製品戦略・企画、片桐寿
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