(2021年6月24日)
取締役、大久保制宇
特別顧問（取締役兼専務執行役員製造統括本部長）堀口勝弘
退任（取締役）中川俊一
執行役員、関東・東海営業本部長、山崎昌樹
執行役員、経営企画本部長、中嶌大樹
常務執行役員（執行役員）ソリューション事業統括本部長兼クリーンルーム事業部長兼技術本部長、中島力
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(2017年6月27日)
専務執行役員（常務執行役員）取締役製造統括本部長、堀口勝弘
専務執行役員（常務執行役員）取締役営業統括本部長兼事業統括本部長、塚本健太
社外取締役、篠崎幸造
退任（社外取締役）武田忍
執行役員、コマニーエンジニアリング社長、高山勝
退任（執行役員総務部責任者）中村和久
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(2014年7月18日)
工務統括本部長、取締役兼常務執行役員製造統括本部長、堀口勝弘
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(2012年4月1日)
研究開発統括本部長、副社長、塚本清人
営業統括本部長（営業統轄）取締役兼専務執行役員、南昇悟
グローバル推進統括本部長（グローバル推進責任者兼技術本部長）同兼常務執行役員、沢田直樹
管理統括本部長（管理本部長）同兼常務執行役員、川口幸一
工務統括本部長（東日本営業本部長）同兼常務執行役員、西田憲孝
製造統括本部長（製造本部長）同兼常務執行役員、堀口勝弘
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