(2015年3月2日)
会長兼ＣＥＯ、西口泰夫
社長兼ＣＯＯ、井上あまね
取締役兼執行役員常務兼ＣＦＯ財務経理・監査担当、丑田健滋
同兼執行役員常務兼ＣＴＯ経営管理・共通技術・品質保証担当、岡本吉史
同兼執行役員常務第一事業本部長、野崎勉
同兼執行役員常務第二事業本部長、三宅富
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(2013年7月1日)
ＣＦＯビジネス改革推進本部副本部長、取締役兼執行役員常務兼ＣＳＯ経営推進本部長、曲渕景昌
ビジネスマネジメント本部長、執行役員製造本部副本部長兼品質保証本部長、河野通有
イメージングＳＬ事業部長、同アドバンストプロダクト事業本部副本部長兼ビジネス改革推進本部先端ファブビジネス改革推進室長、三宅富
経営推進本部長代理、ビジネス推進室長、花岡寿公
ビジネスマネジメント本部長代理、アドバンストプロダクト事業本部長代理、小野村浩一
同本部計画室長（アドバンストプロダクト事業本部事業企画統括部長）矢田知寛
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(2012年4月1日)
ＣＴＯ兼開発本部担当（営業・事業・開発・製造担当）取締役兼執行役員副社長、八木春良
執行役員副社長営業・事業部門担当兼営業本部長（執行役員常務ＭＳＬ事業本部長兼アドバンストプロダクト事業本部長）取締役、柏木茂雄
製造本部長（開発・製造本部長）取締役兼執行役員常務兼品質保証本部長、渡部潔
取締役兼執行役員常務ＣＳＯ（執行役員）経営推進本部長、曲渕景昌
同兼執行役員常務ＭＳＬ事業本部長（同ＭＳＬ事業本部副本部長）井上あまね
退任、富士通ＶＬＳＩ社長に就任する（取締役）日野陽司
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