(2019年6月26日)
社長、五條健利（ごじょう たけとし）
専務（社長）押森広仁
取締役、木村仁
退任（取締役）小出篤
退任（取締役）大屋秀俊
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(2013年7月1日)
製造（技術兼装置製造）常務、大屋秀俊
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(2013年6月26日)
常務（取締役）技術兼装置製造・、大屋秀俊
監査室長、森山敏之
生産管理（品質保証）和田文忠
事業開発室長、内山茂行
技術、東福寺茂幸
品質保証、北沢明
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(2012年10月1日)
装置製造、取締役技術・、大屋秀俊
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