(2024年6月26日)
取締役、井上俊弘
退任（取締役）大森郁夫
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(2024年4月1日)
副社長執行役員管理統括（専務執行役員調達本部長兼品質管理担当）取締役、平田正治郎
副社長執行役員事業統括（専務執行役員事業本部長）取締役、前田繁
経理・法務・知財担当、取締役兼執行役員管理本部長、二宮秀樹
事業本部長（第三ビジネスユニット長）執行役員、平川武則
執行役員事業本部第一ビジネスユニット長（熊本第一事業部長）江藤英敏
執行役員事業本部第三ビジネスユニット長兼管理部長（装置第一事業部長）村上正剛
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(2020年6月25日)
取締役、総務部長、高木貴温
取締役、大森郁夫
退任（常務）田村博
退任（取締役）上木原正記
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(2019年4月1日)
専務執行役員（執行役員）管理本部長、安高純一郎
専務執行役員（執行役員）グローバル事業本部長、本郷仁基
専務執行役員（執行役員）事業本部長、黒田健治
常務執行役員事業本部担当（執行役員装置事業部長）藤原五男
常務執行役員（執行役員）CTO研究開発本部長、平賀靖英
常務執行役員事業本部担当（執行役員事業本部長）市原雄一
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