(2019年10月1日)
技術管理統轄部長（TS製品統轄担当兼CCS製品統轄部長）常務執行役員、田中真人
HR・インフラ統轄部インフラ推進部長（HR・インフラ部長）執行役員HR・インフラ統轄部長、今井渉
HR・インフラ統轄部HR・経営推進、馬杉耕二郎
グローバルセールス統轄部国内営業部長（アカウント営業二部長）蛯名雅彦
グローバルセールス統轄部フロンティア営業部長、グローバルセールス統轄部副統轄部長、宮島吉宏
品質統轄部品質推進部長、影山貴浩
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(2019年4月1日)
取締役、石川義久
監査役、島純子
退任（取締役）沖勝登志
退任（取締役）灘原壮一
退任（取締役）近藤洋一
執行役員、グローバルセールス統轄部長兼アカウント営業一部長、成瀬務
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(2016年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員（社長）須原忠浩
常務執行役員生産統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部長（洗浄技術統轄部長）取締役、後藤正人
常務執行役員技術／製品ポートフォリオ・アライアンス担当、取締役兼最高技術責任者、ヴァテール・オリヴィエ
常務執行役員開発統轄・品質統轄・彦根地区担当（取締役開発統轄部長）内田博文
常務執行役員東京地区担当（取締役製造統轄部長）安藤公人
執行役員兼ＳＣＲＥＥＮＳＰＥ台湾董事長兼総経理（ＰＳ統轄部長）西田啓二
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