(2021年4月1日)
専務執行役員（執行役員中国ビジネス戦略室長）小川雲龍
常務執行役員事業戦略本部長（執行役員富山事業所長）柳川秀宏
執行役員富山事業所長（富山事業所副事業所長）ものづくり本部長、山田正行
グループ経営企画室長（経営戦略本部経営統合準備室長）川上晴彦
DX推進室長（量産設計本部ソフト設計部長）宮田幸男
広報・IR本部長兼広報・IR部長（経営戦略本部長）橋本卓資
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(2018年4月1日)
電子機械事業部事業戦略本部事業企画部長、石黒認
電子機械事業部グローバルサービス統括本部長、グループ運営戦略室長、内野敏幸
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング本部長、矢野雅彦
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング部長、高道健
生産統括本部量産設計本部第三成膜装置設計部長、竹林雄二
生産統括本部製造本部生産技術部長、高島克美
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