(2018年4月1日)
電子機械事業部事業戦略本部事業企画部長、石黒認
電子機械事業部グローバルサービス統括本部長、グループ運営戦略室長、内野敏幸
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング本部長、矢野雅彦
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング部長、高道健
生産統括本部量産設計本部第三成膜装置設計部長、竹林雄二
生産統括本部製造本部生産技術部長、高島克美
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(2013年4月1日)
戦略法務室長、本部長兼法務・ＣＳＲ本部長兼法務室長兼秘書室長、堀内啓
広報・渉外室長、長岡実
経営戦略室長、関忠彦
情報Ｓ統括本部副本部長、谷口茂樹
営業本部副本部長、アジア営業・、塚田和徳
同本部拡販営業、大川晃
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