(2024年4月1日)
プラントエンジニアリングセンター副センター長兼プロジェクトソリューション統括部長（製作部長）原田幹久
ガスエンジニアリングセンター供給技術部長（中部支社技術部長）大岡寛典
中部支社技術部長（タイヨウニッポンサンソインディアバイスプレジデント）石井浩
電子機材ユニット電子機材機器事業部機器営業部長（海外営業部長）稲田真之
電子機材ユニットグローバル・プランニング部長、杉原健一
生産・物流ユニット技術統括部長、生産技術部長、高山孝治
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(2023年4月1日)
工業ガスユニットガス事業部長（ガス営業部長）中村悟郎
工業ガスユニットガス事業部ガス営業部長、鈴木秀臣
電子機材ユニット電子機材ガス事業部長（電子機材ガス営業部長）千葉賢治
電子機材ユニット電子機材ガス事業部国内営業部長、大倉寛信
電子機材ユニット電子機材ガス事業部特殊ガス技術部長、技術統括ユニットグローバル技術統括部技術支援部長、柿木一大
電子機材ユニット電子機材ガス事業部企画部長、技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長、富田修康
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(2022年4月1日)
技術開発ユニット開発企画統括部開発業務部長、東智靖
技術開発ユニットつくば開発センター所長（R&D・ユニットつくば研究所副所長兼同位体プロジェクトマネジャー）神辺貴史
技術開発ユニットつくば開発センター化学合成開発部長（R&D・ユニットつくば研究所化学合成技術部長）福田健治
技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長（R&D・ユニットつくば研究所電子機材技術部長）富田修康
技術開発ユニットつくば開発センター深冷分離開発部長（R&D・ユニットつくば研究所深冷分離技術部長）木原均
技術開発ユニットつくば開発センター分析技術部長（技術統括ユニット分析技術センター所長）関哲也
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(2018年10月1日)
産業ガス事業本部ガス事業部ガス営業二部長（ガス営業部長）ガス事業部長、飯塚浩幸
産業ガス事業本部ガス事業部ガス営業一部長（サマトールタイヨウニッポンサンソインドネシア社長）中村悟郎
産業ガス事業本部ガス事業部ガスシステム部長、滝島昌英
関西支社ガス営業部長（産業ガス事業本部ガス事業部パイピング・ＰＳＡ営業部長）林健
中部支社ガス営業部長（関西支社ガス営業部長）宮田達男
技術本部分析技術センター所長、関哲也
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