(2021年5月1日)
ビーム・プラズマ事業本部長（ビーム・真空応用事業本部長）常務兼常務執行役員、寺本幸文
装置部品ソリューション事業統括部長（装置部品事業統括部長）常務執行役員、天海秀樹
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(2018年6月26日)
常務お客様サービス事業本部長（電力・環境システム事業本部副本部長）常務執行役員、松本義明
常務兼常務執行役員ビーム・真空応用事業本部長（執行役員経理部長）寺本幸文
常務執行役員電力・環境システム事業本部副本部長（執行役員）電力機器事業部長、小林賢司
常務執行役員研究開発本部副本部長（執行役員研究統括室長兼技術開発推進センター長）材料技術開発研究所長、西川公人
品質保証統括部長（電力・環境システム事業本部ソリューションシステム事業部長）川上重男
生産技術（品質保証統括部長）松本貴司
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(2018年6月26日)
常務（常務執行役員）永田幸一
常務（常務執行役員）松本義明
常務（執行役員）寺本幸文
常勤監査役（常務兼常務執行役員）植野正
顧問（常務兼常務執行役員）星康久
顧問（常務兼常務執行役員）宮下通永
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(2016年6月22日)
専務、住友電気工業常務、斎藤成雄
取締役、京都中央信用金庫副理事長、平林幸子
顧問（専務兼専務執行役員）石田和正
常務執行役員（執行役員）明石直義
執行役員、寺本幸文
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