(2021年4月1日)
社長室副室長兼投資企画部長（経営戦略本部戦略企画部長）居村一彦
サステナビリティ戦略部長、山田由香子
情報セキュリティ推進部長（ITソリューション本部長）鈴木博之
経営管理本部副本部長（コーポレートコミュニケーション部長）豊田陽介
経営管理本部広報部長、鈴木さやか
経営管理本部工務管理部長、内海稔和
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(2020年9月1日)
半導体装置事業部生産・技術統括部技術部長、小井手秀之
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