(2021年4月1日)
工業ガスユニットLPガス事業部LPガス営業部長（エネルギー事業本部企画業務部長）森井宏明
電子機材ユニット電子機材機器事業部電子機材供給機器技術部長（産業ガス事業本部電子機材機器事業部電子機材機器技術部長）金子正
電子機材ユニット電子機材環境機器技術部長、川端宏文
基盤事業支援ユニット品質保証部長（産業ガス事業本部品質管理部長）米村孝則
メディカルユニットバイオ・メディカル事業部医療ガス営業部長（メディカル事業本部バイオ・メディカル事業部ガス営業部長）川瀬大助
メディカルユニットバイオ・メディカル事業部技術部長、竹内弘次
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(2018年6月20日)
イノベーション事業本部企画業務部長（国際事業本部業務部長）小田島行宏
国際事業本部企画管理部長（国際事業部企画部長）久保宏一郎
国際事業本部事業推進部長（ＭａｔｈｅｓｏｎＴｒｉ―ＧａｓＥｘｅｃｕｔｉｖｅＶｉｃｅＰｒｅｓｉｄｅｎｔ）丹羽善之
開発本部事業開発統括部長（国際事業本部事業開発部長）渡辺忠治
開発本部事業開発統括部事業開発部長、野村徹
開発本部つくば研究所電子機材技術部長（国際事業本部イノベーション事業部開発部長）田渕俊也
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(2017年4月1日)
ＣＳＯ（産業ガス事業本部副本部長兼電子機材事業統括部長）取締役兼専務執行役員、天田茂
大陽日酸グループＣＣＯ（管理本部長）上席常務執行役員兼ＣＣＯ、石川潤
技術本部長（技術本部副本部長）常務執行役員、谷沢博幸
関東支社長（中四国支社長）常務執行役員、柳田裕久
エンジニアリング本部長（オンサイト・プラント事業本部長）常務執行役員、上原正弘
産業ガス事業本部長（産業ガス事業本部副本部長兼ガス事業統括部長兼プロダクト管理統括部長）常務執行役員、永田研二
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