(2024年6月27日)
海外事業統括、社長兼COO、香田昌司
取締役（監査役）山本直道
同営業・開発戦略総括兼開発戦略本部長兼技術室担当（東日本本部長兼開発戦略本部副本部長）専務執行役員、藤重卓一
常勤監査役（上席フェロー）山野慎一郎
監査役、山本哲也
フェロー（取締役兼専務執行役員）伊藤弘幸
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(2024年4月1日)
エグゼクティブ・フェロー（専務執行役員）取締役、小川雲龍
専務執行役員輸出管理・法務・知財担当、塚田和徳
事業所運営統括、常務執行役員、山田正行
常務執行役員、河上好隆
常務執行役員技術統括兼プロセス技術開発担当、金山健司
常務執行役員、山峯直利
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(2023年4月1日)
専務執行役員事業開発・情報セキュリティ担当兼事業開発本部長（常務執行役員）柳川秀宏
経営企画・広報・IR・サステナビリティ担当、常務執行役員、塚田和徳
調達・新事業所プロジェクト担当、調達・新事業所ものづくり本部長兼富山事業所長、山田正行
執行役員営業担当、営業本部長、宮本正巳
事業開発本部WLA開発部長（プロセス開発本部第三プロセス開発部長）湯浅和宏
グローバルサービス本部サービス戦略企画部長、三浦一成
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(2022年6月29日)
社外取締役、安原由美子
広報室長、常務執行役員経営戦略本部長兼経営・営業企画室長、纐纈准志
常務執行役員（上席執行役員）磯部好伸
常務執行役員西日本本部長（執行役員西日本営業本部長）山田正行
東日本本部副本部長、執行役員横浜支店長、森健司
西日本本部副本部長（西日本営業本部副本部長）執行役員、広政徹也
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