(2024年6月)
監査役、岡安俊幸
監査役、大谷剛
退任（監査役）原義彦
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(2019年6月26日)
AppliedResearch&VentureTeamBBN&ChinaLabリーダー、取締役兼常務執行役員ATEビジネスグループリーダー兼AppliedResearch&VentureTeamリーダー、ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー
サプライチェーン統括部長、取締役兼常務執行役員生産本部長、塚越聡一
取締役管理担当、常務執行役員管理本部長、藤田敦司
顧問（取締役兼執行役員副社長カスタマリレーションズ担当兼営業本部長）明世範
DH事業本部担当（T2000事業本部長）常務執行役員ATEビジネスグループサブリーダー兼メモリテスト事業本部長、津久井幸一
AppliedResearch&VentureTeamUSLabリーダー兼SystemTestBusinessUnitリーダー、常務執行役員、ダグラス・ラフィーバ
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(2018年6月27日)
執行役員副社長カスタマリレーションズ担当（専務執行役員営業担当）取締役営業本部長、明世範
取締役テストテクノロジー担当、常務執行役員、ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー
取締役サプライチェーン担当、常務執行役員生産本部長、塚越聡一
新企画商品開発室長（ＣＳＲ・環境推進センタ副センタ長兼新企画商品開発室副室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー）常務執行役員社長室長、津久井幸一
常務執行役員事業推進本部長兼事業革新統括部長（執行役員事業革新本部長）加藤俊介
常務執行役員管理本部長（執行役員管理本部副本部長兼経理部長）藤田敦司
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(2015年6月24日)
新企画商品開発室技術担当（ＳｏＣテスト事業本部長）執行役員、岡安俊幸
執行役員事業革新本部長（事業推進本部副本部長兼事業革新グループリーダー）加藤俊介
執行役員営業本部副本部長、第２販売統括部長、阪本公哉
執行役員管理本部副本部長（ＧＡＯ）経理・、藤田敦司
監査等委員会室長、藤本和秀
監査室長兼企業倫理相談室長、小島健
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