(2014年7月1日)
フルイディクス事業部長（フルイディクス機器）上席執行役員、岩崎正弘
同事業部事業企画兼技術、山下茂
同営業、谷口正人
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(2013年6月27日)
技術推進、冨田司
半導体機器事業部副事業部長、営業兼ＴＭＰビジネスユニット長、渡辺明
島津プレシジョンテクノロジー社長、上席執行役員フルイディクス機器・、岩崎正弘
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