(2018年4月1日)
品質統轄担当（ＨＲ・インフラ統轄担当）代表取締役兼社長執行役員ビジネス本部長、須原忠浩
監査役、吉川敦則
顧問（監査役）谷田研一
常務執行役員ＴＳ製品統轄担当兼ＣＣＳ製品統轄部洗浄技術開発部長（執行役員）ＣＣＳ製品統轄部長、田中真人
ＳＣＭ統轄部長（グローバルセールス統轄部長兼韓国営業部長）執行役員、山田光浩
執行役員、経営戦略統轄部長兼経営管理部長兼業務改革推進部長・、石村学
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(2015年10月1日)
ＰＳ統轄部ポストセールス（洗浄技術統轄部開発一）岩見優樹
洗浄技術統轄部設計三、沢村雅視
洗浄技術統轄部開発一（設計三）新居健一郎
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(2014年10月1日)
取締役兼最高技術責任者、オリヴィエ・ヴァテール
監査役、谷田研一
経営企画、岡本昭彦
統轄部長、大塚純二
副統轄部長、チャールズ・ペチュレスキー
同、ルーク・チャン
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(2014年4月1日)
副会長（社長兼最高執行責任者）橋本正博
社長兼最高執行責任者（取締役広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当）垣内永次
管理本部副本部長（経営戦略本部長兼ディ・エス・ファイナンス社長）取締役ビジネスサービスセンター長、南島新
経営戦略本部長広報ＩＲ・ＧＰＳ・Ｇ10担当（ビジネスサービスセンター副センター長兼人事Ｇ長）取締役、沖勝登志
ＦＰＤ機器Ｃ会長（ＦＰＤ機器Ｃ社長兼成膜応用技術統轄部長）常務執行役員、林隼人
同社長兼成膜応用技術統轄部長（技術開発センター副センター長兼エネルギー開発Ｇ長）上席執行役員、広江敏朗
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