(2024年4月1日)
企画本部経営企画兼IR部長、常務執行役員企画本部長、森岡正名
執行役員プラズマ応用機器事業部長兼技術部長、吉迫裕司
上級フェロー兼技術開発本部長兼AI応用技術開発部長（専務執行役員プラズマシステム事業部長兼プラズマシステム事業部・クリーンロボット事業部担当）大市啓晶
フェロー兼技術開発本部副本部長兼インバータ技術開発部担当（執行役員充電システム事業部長）西森康博
資材部長（四変テック取締役）西川英輝
プラズマシステム事業部副事業部長（営業部長）井口雅勝
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(2021年4月1日)
テクノロジー・イノベーションセンターシュミレーショングループ長、佐藤栄
テクノロジー・イノベーションセンター金属材料・プロセスグループ長、小泉琢哉
テクノロジー・イノベーションセンター樹脂材料・プロセスグループ長、上羽文人
テクノロジー・イノベーションセンターデジタル化技術グループ長、城石正弘
テクノロジー・イノベーションセンター資源循環・プロセスグループ長、水林舞
テクノロジー・イノベーションセンター表面・プロセスグループ長、竹田英樹
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