(2015年6月26日)
経営戦略本部管掌、社長兼社長執行役員、牛田一雄
財務・経理本部管掌（経営戦略本部管掌）取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ、伊藤純一
マイクロスコープ・ソリューション事業部・産業機器事業部管掌、取締役兼常務執行役員、岡本恭幸
ＦＰＤ装置事業部・ガラス事業室・エンコーダ事業室管掌（マイクロスコープ・ソリューション事業部・産業機器事業部管掌）取締役兼常務執行役員コアテクノロジー本部長、大木裕史
常勤監査役（取締役兼常務執行役員財務・経理本部管掌）橋爪規夫
顧問（常勤監査役）河合芳道
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(2014年6月27日)
会長（社長兼社長執行役員）木村真琴
社長兼社長執行役員新事業開発本部・メディカル事業推進本部管掌（取締役兼副社長執行役員精機カンパニープレジデント兼知的財産本部担当兼経営企画本部副担当）牛田一雄（うしだ　かずお）
経営戦略本部管掌（経営企画本部・財務・経理本部・情報セキュリティ推進本部担当）代表取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ、伊藤純一
映像事業部・業務本部管掌（映像カンパニープレジデント）取締役兼常務執行役員、岡本恭幸
財務・経理本部管掌（財務・経理本部長）取締役兼常務執行役員、橋爪規夫
コアテクノロジー本部長兼知的財産本部・半導体装置事業部・マイクロスコープ・ソリューション事業部・産業機器事業部管掌（コアテクノロジーセンター長）取締役兼常務執行役員、大木裕史
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(2012年6月1日)
システム本部担当（カスタムプロダクツ事業部管掌）取締役兼執行役員ビジネススタッフセンター長、金沢健一
ガラス事業室管掌（液晶露光装置事業部長）常務執行役員精機カンパニー副プレジデント、川端邦雄
コアテクノロジーセンター長兼カスタムプロダクツ事業部管掌（コアテクノロジーセンター副センター長）常務執行役員研究開発本部長、大木裕史
映像カンパニー副プレジデント、執行役員生産本部長、小坂庸雄
精機カンパニー液晶露光装置事業部長、執行役員第二開発部ゼネラルマネジャー、浜田智秀
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