(2021年4月1日)
調査部長（技術本部技術戦略部長）高草木操
技術本部技術戦略部長、水口智司
技術本部フェロー（調査部長）エグゼクティブマネージャー、平野立一
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(2018年4月1日)
環境リサイクル事業本部長兼金属事業本部審議役、取締役兼副社長執行役員、大高禎夫
調査部管掌、同兼常務執行役員、村山誠一
取締役、常務執行役員電材加工事業本部副本部長、山尾康二
顧問（取締役兼常務執行役員日立事業所長）小野寛
顧問（取締役兼常務執行役員環境リサイクル事業本部長）和気収
技術本部副本部長（企画管理部長）執行役員、菅原静郎
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(2015年4月1日)
広報・ＣＳＲ、山本真義
電材加工事業本部薄膜材料事業部化合物半導体ユニット長、三浦浩
同事業部主席技師兼企画（化合物半導体ユニット長）平野立一
日立事業所総務、日立事業所副所長、小松崎寛
同銅箔製造、山西敬亮
倉見工場副工場長、設備技術・、佐藤裕彦
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