(2024年4月1日)
会長執行役員（社長執行役員兼CTOデザインセンター・映像ソリューション推進室担当）代表取締役兼CEO、馬立稔和
社長執行役員兼COO（副社長執行役員経営監査部・財務・経理本部・ITソリューション本部担当）代表取締役兼CFO兼CRO経営管理本部長、徳成旨亮（とくなり むねあき）
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(2024年2月15日)
代表取締役兼副社長執行役員兼CRO経営管理本部長兼情報セキュリティ推進部・法務・知的財産本部担当（取締役兼専務執行役員）CFO、徳成旨亮
取締役（代表取締役兼CAO兼CRO経営管理本部長兼情報セキュリティ推進部・法務・知的財産本部担当）専務執行役員、小田島匠
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(2021年4月1日)
CTO（デジタルソリューションズ事業部担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
CAO兼CRO経営管理本部長（人事・総務本部長兼リスク管理・経営監査部担当）代表取締役兼専務執行役員、小田島匠
経営監査部・サステナビリティ戦略部・ITソリューション本部担当、取締役兼専務執行役員兼CFO、徳成旨亮
常務執行役員兼CMO（執行役員半導体装置事業部副事業部長）生産本部長、石塚伸之
常務執行役員社長室長兼光学本部担当（同光学本部長）大村泰弘
執行役員、半導体装置事業部開発統括部長、森田真弘
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(2020年6月26日)
取締役、専務執行役員兼CFO、徳成旨亮
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