(2024年7月1日)
精機事業本部FPD装置事業部副事業部長兼次世代事業開発統括部長（FPD装置事業部開発統括部長）執行役員、宮崎聖二
精機事業本部商品戦略部長、久保岳士
精機事業本部次世代事業開発統括部第一開発部長（FPD装置事業部開発統括部先端技術開発部長）鈴木智也
精機事業本部次世代事業開発統括部第二開発部長、鬼頭義昭
精機事業本部半導体装置事業部副事業部長（開発統括部長）白田陽介
精機事業本部半導体装置事業部NEXT推進室長（開発統括部第四開発部長）新井寿典
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(2021年4月1日)
社長室副室長兼投資企画部長（経営戦略本部戦略企画部長）居村一彦
サステナビリティ戦略部長、山田由香子
情報セキュリティ推進部長（ITソリューション本部長）鈴木博之
経営管理本部副本部長（コーポレートコミュニケーション部長）豊田陽介
経営管理本部広報部長、鈴木さやか
経営管理本部工務管理部長、内海稔和
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