(2023年4月1日)
品質保証第一部長、品質保証本部長、横山英樹
CMP事業本部長（CMP事業本部副本部長）CMP開発部長、菅井和己
人事・組織開発本部長（人事・組織開発本部副本部長）人事総務兼事業企画室長、日比勝之
資材調達部長、生産管理部長、川崎鋼
品質保証第二部長（品質保証部長）北原康馬
財務部長（財務部次長）染川弘明
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(2022年4月1日)
人事・組織開発本部長（財務本部長）社長、関敬史
研磨ソリューション本部研磨ソリューション開発部長（新規事業営業兼新規事業開発部長）研磨ソリューション本部長、森永均
先端技術・機能材料本部長（先端技術研究所長兼基幹技術開発兼開発企画部長）石橋正憲
財務本部長兼財務兼経営企画部長（財務本部副本部長）川島敏裕
人事・組織開発本部副本部長兼事業企画室長、人事総務部長、日比勝之
各務東町工場長（各務東町工場長次長）大橋佐登誌
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(2016年4月1日)
シリコン事業本部長（シリコン事業本部副本部長）シリコン開発部長・、森嘉男
シリコン営業部長（シリコン営業部次長）秋田三郎
各務原工場長（各務東町工場長）稲沢工場長、二ノ方良一
各務東町工場長、倉本隆幸
社長室長（人事部人事課長）日比勝之
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