(2024年12月中旬)
常務執行役員、取締役、森和彦
取締役、野崎健
取締役、鳥山尚史
取締役、木村隆昭
監査役、中野昌治
監査役、平井正大
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(2022年12月中旬)
会長（社長）昼馬明
副会長（副社長）鈴木賢次
社長兼社長執行役員（代表取締役）丸野正（まるの ただし）
副社長兼副社長執行役員（取締役）加藤久喜
専務執行役員、取締役、鈴木貴幸
取締役、上席執行役員、森和彦
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(2020年12月18日)
社長執行役員、社長、昼馬明
副社長執行役員、副社長電子管事業部長、鈴木賢次
専務執行役員、代表取締役固体事業部長兼レーザ事業推進部長、山本晃永
常務執行役員、取締役中央研究所長、原勉
常務執行役員、取締役管理本部長、吉田堅司
常務執行役員、取締役システム事業部長、丸野正
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(2016年3月24日)
会長（会長兼社長）冨岡昌弘
社長（副社長）藤岡秀則（ふじおかひでのり）
副社長（取締役）デビッド・ゴワード
取締役（監査役）遠藤克博
監査役、本田光宏
退任（副会長）ロバート・カーチス
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