(2016年4月1日)
輸出管理責任者兼サービス・ソリューション事業推進本部長、執行役専務科学・医用システム事業統括本部長、池田俊幸
ＣＴＯ、執行役電子デバイスシステム事業統括本部長、木村勝高
執行役専務リスクマネジメント責任者兼ＣＲＯ（執行役常務）ＣＦＯ財務本部長、宇野俊一
執行役常務モノづくり戦略本部長（執行役）モノづくり・品質保証責任者兼科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部長、本田穣慈
日立ハイテクサイエンス社長（科学・医用システム事業統括本部科学システム営業本部長）執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長、岡田務
執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長、評価装置営業本部長、石和太
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(2015年4月1日)
執行役社長（執行役専務）宮崎正啓
執行役副社長（同）御手洗尚樹
執行役専務（執行役）池田俊幸
同（執行役常務）木村勝高
執行役常務（執行役）中島隆一
同（同）橋本純一
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(2014年4月1日)
執行役専務営業統括本部長兼ＣＭＯ（執行役常務）科学・医用システム事業統括本部長、梶本敏夫
同ＣＨＲＯ兼ＣＲＯ（日立製作所執行役常務）御手洗尚樹
同経営戦略本部長兼ファインテックシステム業務本部長兼ＣＳＯ（日立ハイテクノロジーズアメリカ社長）宮崎正啓
執行役常務電子デバイスシステム事業統括本部長（執行役電子デバイスシステム事業統括本部評価システム設計開発本部長）木村勝高
同商事統括本部長（日立ハイテクノロジーズヨーロッパ社長）長尾英則
執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長、笠戸地区設計・生産本部長、大本博秀
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(2011年4月1日)
監査室長（財務本部経理）中島隆一
ＣＳＲ本部長兼法務・ＣＳＲ兼取締役会室長（日立製作所法務・コミュニケーション統括本部ブランド・コミュニケーション本部副本部長）須藤雅紀
同本部コーポレート・コミュニケーション、加藤弘之
財務本部経理（日立製作所財務統括本部財務三兼営業統括本部特約店センタ長兼業務本部長）宇野俊一
執行役常務情報システム本部長兼ＣＩＯ（執行役）財務本部長、西田守宏
情報Ｓ本部グローバルＩＴ、卜部良基
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