(2021年6月25日)
取締役（管理部長）高橋雄一郎
取締役、本間政司
退任（取締役）江口慎一
退任（取締役）木村広隆
退任（取締役）相馬粛一
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(2015年6月24日)
取締役（常勤監査役）西伸孝
同（監査役）木村広隆
同、図研取締役管理本部長、相馬粛一
退任（監査役）森尾稔
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(2014年6月25日)
常勤監査役（図研管理本部財務）西伸孝
監査役、木村広隆
退任（常勤監査役）大門肇
同（監査役）新井浩之
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(2013年6月28日)
常務総合企画（取締役丸亀事業所長）篠原旬一
常務（取締役）姫路事業所長、西村幸信
設計ＳＬ事業推進室長、取締役名古屋事業所長兼基板・ＬＳＩ事業部副事業部長、山下昭裕
営業統括部長（営業統括部副統括部長）取締役、清沢孝雄
取締役、酒井潔
同神戸事業所長兼産業システムＳＬ事業推進室長、一枝圭祐
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