(2015年10月1日)
取締役事業開発室担当（事業開発室担当事業開発室長）兼清原光学代表取締役、向田泰久
管理本部長、執行役員、向田泰久
フォトマスク事業本部生産本部副本部長（生産本部）滋賀工場長、平尾匡
事業開発室長（事業開発室副室長）一井洋孝
（管理本部長）清原光学 取締役、末松久人
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(2015年7月28日)
清原光学代表取締役、取締役・事業開発室担当事業開発室長、前野隆一
清原光学取締役、管理本部長、末松久人
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