(2023年3月30日)
専務執行役員（常務執行役員）取締役営業本部長兼開発本部長、土井宏介
取締役（常勤監査役）徳竹信生
取締役材料事業本部長（経営企画本部長）執行役員、山本浩貴
常務執行役員（取締役兼執行役員材料事業本部長）村上裕一
退任（取締役）水木国雄
退任（監査役）竹内伸行
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(2016年6月28日)
取締役営業本部長（営業本部副本部長）執行役員、山田敬一
常勤監査役（執行役員プロセス機器事業本部長）藤下一
顧問（取締役兼専務執行役員営業本部長）岩崎光文
退任（常勤監査役）田沢賢二
執行役員、土井宏介
執行役員プロセス機器事業本部長（プロセス機器事業本部副本部長）本川司
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(2014年6月26日)
取締役、オイレス工業会長、栗本弘嗣
退任（取締役）牧野二郎
常務執行役員（執行役員）経営企画室長、萩原嘉男
執行役員、開発本部副本部長、佐藤和史
材料事業本部副本部長（経理本部経理）村上裕一
プロセス機器事業本部副本部長（営業本部太陽電池営業）本川司
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