(2023年4月1日)
工業ガスユニットガス事業部長（ガス営業部長）中村悟郎
工業ガスユニットガス事業部ガス営業部長、鈴木秀臣
電子機材ユニット電子機材ガス事業部長（電子機材ガス営業部長）千葉賢治
電子機材ユニット電子機材ガス事業部国内営業部長、大倉寛信
電子機材ユニット電子機材ガス事業部特殊ガス技術部長、技術統括ユニットグローバル技術統括部技術支援部長、柿木一大
電子機材ユニット電子機材ガス事業部企画部長、技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長、富田修康
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(2021年4月1日)
工業ガスユニットLPガス事業部LPガス営業部長（エネルギー事業本部企画業務部長）森井宏明
電子機材ユニット電子機材機器事業部電子機材供給機器技術部長（産業ガス事業本部電子機材機器事業部電子機材機器技術部長）金子正
電子機材ユニット電子機材環境機器技術部長、川端宏文
基盤事業支援ユニット品質保証部長（産業ガス事業本部品質管理部長）米村孝則
メディカルユニットバイオ・メディカル事業部医療ガス営業部長（メディカル事業本部バイオ・メディカル事業部ガス営業部長）川瀬大助
メディカルユニットバイオ・メディカル事業部技術部長、竹内弘次
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