(2023年3月30日)
専務執行役員（常務執行役員）取締役営業本部長兼開発本部長、土井宏介
取締役（常勤監査役）徳竹信生
取締役材料事業本部長（経営企画本部長）執行役員、山本浩貴
常務執行役員（取締役兼執行役員材料事業本部長）村上裕一
退任（取締役）水木国雄
退任（監査役）竹内伸行
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(2020年3月27日)
取締役、専務執行役員経理財務本部長、柴村洋一
取締役材料事業本部長（材料事業本部副本部長）執行役員、村上裕一
取締役、帝国通信工業取締役相談役、一柳和夫
常勤監査役（取締役兼執行役員材料事業本部長）徳竹信生
退任（取締役）山田敬一
退任（常勤監査役）藤下一
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(2015年6月25日)
取締役材料事業本部長（材料事業本部副本部長）執行役員、徳竹信生
取締役、関口典子
監査役、三菱ＵＦＪトラスト投資工学研、究所顧問斎藤広志
顧問（取締役兼執行役員材料事業本部長）岩佐純
退任（監査役）室幸夫
執行役員、入野浩一
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(2014年6月26日)
取締役、オイレス工業会長、栗本弘嗣
退任（取締役）牧野二郎
常務執行役員（執行役員）経営企画室長、萩原嘉男
執行役員、開発本部副本部長、佐藤和史
材料事業本部副本部長（経理本部経理）村上裕一
プロセス機器事業本部副本部長（営業本部太陽電池営業）本川司
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