(2024年4月1日)
コーポレートアドバイザー（FC事業部担当）取締役兼執行役員専務、深川浩一
執行役員専務（執行役員常務）取締役インキュベーションセンター長、横尾健司
コア技術開発本部長、取締役兼執行役員常務技術本部長、小谷直仁
執行役員常務（執行役員）技術本部副本部長兼VCCS技術統括部長兼プラットフォーム事業推進兼人財育成センター長、坂田毅
執行役員常務（執行役員）井下原博
FC事業部担当、執行役員生産プロセス革新本部長、赤尾剛
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(2023年4月1日)
インキュベーションセンター長兼地域貢献担当（VCCS事業部担当）取締役兼執行役員常務、横尾健司
インキュベーションセンタープラットフォーム事業推進兼人財育成センター長、執行役員技術本部副本部長兼VCCS技術統括部長、坂田毅
インキュベーションセンター先端デバイス事業推進部長（FC事業部長）執行役員、松浦元昭
購買本部長（購買本部部長）江尻等
VCCS事業部VCCS技術統括部VCCS技術部長（ＶＣＣＳ事業部ＶＣＣＳ技術統括部ＶＣＣＳ技術部次長兼ＶＣＣＳ事業部ＶＣＣＳ技術統括部原価企画室次長）郷清二
VCCS事業部VCCS技術統括部原価企画室部長（ＶＣＣＳ事業部ＶＣＣＳ技術統括部ＶＣＣＳ技術部次長兼ＶＣＣＳ事業部ＶＣＣＳ技術統括部原価企画室次長）林健太郎
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(2020年4月1日)
執行役員、FC事業部長、松浦元昭
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(2019年4月1日)
執行役員、VCCS事業部VCCS製造部長、古見芳郎
FC事業部長、国内営業部長、松浦元昭
FC事業部FC技術部長、遠藤健司
MD事業部MD製造部長、赤尾剛
品質保証本部製品品質保証部長、稲村憲一
経営企画本部経営企画室部長、角田達朗
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