(2022年4月1日)
常務執行役員（執行役員）電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長、高木正治
執行役員、経営企画・ICT・ユニット長、竹内聡一郎
電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長（九州支社長）執行役員、相田智之
ガスエンジニアリングセンター長（つくば研究所長）執行役員技術開発ユニット長、武内雅弘
プラントエンジニアリングセンター副センター長兼企画業務（業務統括ユニット長）執行役員、東剛
理事 メディカルユニット長（バイオ・メディカル事業部長兼事業推進部長）古海敏恵
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(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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(2020年4月1日)
内部統制推進室長、小山健司
中部支社ガス営業部長、鈴川武
九州支社ガス営業部長（中四国支社四国支店長）橋口朋之
中四国支社四国支店長（北関東支社鹿島支店長）桜田啓一郎
北関東支社鹿島支店長（栃木支店長）小林伸一
北関東支社栃木支店長、足利支店長、中原俊宏
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(2018年4月1日)
開発本部技術サポートセンター所長（プロジェクト推進統括部長）副本部長、佐藤豊幸
開発本部山梨研究所長（開発事業企画統括部長兼技術サポートセンター所長）武内雅弘
開発本部プロジェクト推進統括部長（山梨研究所長）中村章寛
開発本部開発事業企画統括部長（業務推進部長）能瀬憲宏
開発本部開発事業企画統括部業務推進部長、牧野宏治
山梨研究所ガス分離技術部長（プロジェクト推進統括部ＰＳＡプロジェクトマネジャー）国分磨希也
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