(2024年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員兼SCREENElectronicsShanghai董事長兼SCREENSPETaiwan董事長（執行役員事業統轄部長兼経営推進）CSR統轄部長、岡本昭彦
取締役（代表取締役兼社長執行役員兼SCREENElectronicsShanghai董事長兼SCREENSPETaiwan董事長）後藤正人
DX担当兼IT統轄部長、取締役兼常務執行役員経営戦略統轄部長、石村学
退任（取締役）石川義久
常務執行役員装置戦略担当（上席執行役員SCM担当）長谷川公二
生産・SCM・PS担当（製造担当）執行役員、小條泰弘
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(2023年4月1日)
監査役（SCREENホールディングス経理・財務室経理部長）西垣正朗
退任（監査役）吉川敦則
CSR統轄部統轄部長、執行役員事業統轄部長兼経営推進部長、岡本昭彦
CSR統轄部安全保障貿易管理部長（CSR部長）小松裕樹
CSR統轄部安全衛生推進部長、内田伸
CSR統轄部ESG推進部長、吾子健一郎
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