(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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(2014年5月1日)
技術本部知的財産（開発・エンジニアリング本部つくば研究所副所長兼化学合成技術）西名明
開発・エンジニアリング本部つくば研究所化学合成技術、つくば研究所長兼超電導プロジェクトマネジャー、吉田茂
北関東支社電子機材営業、増沢信一郎
管理本部情報システム、梶田浩司
大陽日酸エンジニアリングに出向（北関東支社電子機材営業）松本糾
新洋酸素に出向（管理本部情報システム）岩崎一徳
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