(2024年4月1日)
法務担当（人事担当）常務執行役員、梶谷良野
人事担当（法務担当）常務執行役員、青山恵則
営業本部長、常務執行役員東京支社長、的場俊英
営業本部副本部長兼海外営業ユニット長（経営戦略室長）執行役員、田島渉
営業本部副本部長兼営業推進ユニット長（営業戦略室長）執行役員、森本茂樹
執行役員、基盤技術研究所長、西本尚弘
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(2022年4月1日)
会長兼取締役会議長（社長兼CEO）上田輝久
社長兼CEO（取締役兼専務執行役員兼CFO経営戦略・コーポレート・コミュニケーション担当）山本靖則
専務執行役員兼CFO経営戦略・コーポレート・コミュニケーション担当（常務執行役員産業機械事業部長兼フルイディクス事業部長）渡辺明
常務執行役員兼CTO（執行役員基盤技術研究所長）糸井弘人
常務執行役員法務・総務・内部統制担当兼リスクマネジメント副担当（執行役員総務部長）青山恵則
執行役員産業機械事業部長兼フルイディクス事業部長（産業機械事業部副事業部長）田中雅彦
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(2019年4月1日)
上席専務執行役員（専務執行役員）取締役東京支社長、三浦泰夫
上席専務執行役員（専務執行役員）航空機器事業部長、藤野寛
上席専務執行役員コーポレート・コミュニケーション担当（専務執行役員IR・広報担当）古沢宏二
専務執行役員（常務執行役員）馬瀬嘉昭
専務執行役員（常務執行役員）医用機器事業部長、伊藤邦昌
専務執行役員（常務執行役員）分析計測事業部長、丸山秀三
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(2013年4月1日)
営業推進兼東京支社総務（つくば支店長）横山泰久
つくば支店長、今井誠
基盤技術研究所データ処理ユニット長、上野功裕
〔総合デザインセンター〕センター長（設計技術センター長）荒川彰
設計技術ユニット長（ソフトウェア開発センター長）新屋和也
設計推進ユニット長、井上藤男
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