(2022年10月1日)
生産本部・技術開発本部担当（フォトマスク事業本部生産本部長）取締役、橋本昌典
営業本部担当（営業本部長）執行役員、吉田豊
執行役員、技術開発本部長兼京都工場長、小西芳広
営業本部長兼韓国営業部統括（頂正科技総経理）長尾崇弘
生産本部長（生産本部副本部長）滋賀工場長、田辺勇
技術開発本部副本部長、京都技術開発部統括、東小由里
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(2021年7月1日)
総務部長、勝山潔
総務部参事官、橋本昌典
総務部参事官、服部真樹
総務部危機管理官、勝谷大輔
国際刑事課長、小幡章博
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(2019年12月20日)
取締役、執行役員生産本部長、橋本昌典
取締役（顧問）阿部和香
上席執行役員（取締役）NM開発室長、塩尻和也
退任（取締役）麓泰紀
管理本部担当兼管理本部長（経営戦略室長）執行役員、前川隆
経営戦略室長（経営戦略室副室長）一井洋孝
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(2019年10月1日)
NM開発室担当兼NM開発室長（事業開発室担当）取締役、塩尻和也
頂正科技監査人、取締役、前野隆一
執行役員、経営戦略室長、前川隆
執行役員・頂正科技出向・董事長（頂正科技出向・総経理）平井健策
執行役員、生産本部長、橋本昌典
執行役員事業開発室担当兼事業開発室長（事業推進室長）中村一志
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