(2023年4月1日)
専務執行役員事業開発・情報セキュリティ担当兼事業開発本部長（常務執行役員）柳川秀宏
経営企画・広報・IR・サステナビリティ担当、常務執行役員、塚田和徳
調達・新事業所プロジェクト担当、調達・新事業所ものづくり本部長兼富山事業所長、山田正行
執行役員営業担当、営業本部長、宮本正巳
事業開発本部WLA開発部長（プロセス開発本部第三プロセス開発部長）湯浅和宏
グローバルサービス本部サービス戦略企画部長、三浦一成
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(2021年11月1日)
プロセス開発本部長（技術開発本部長）金山健司
プロセス開発本部第一プロセス開発（量産設計本部第三設計）南政克
プロセス開発本部第二プロセス開発（技術開発本部要素技術開発）高沢裕真
プロセス開発本部第三プロセス開発（技術開発本部プロジェクトリーダ）湯浅和宏
プロセス開発本部要素プロセス開発、広瀬義朗
システム開発本部長（量産設計本部長兼製品戦略プロジェクトリーダ）富山事業所長代理、小竹繁
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(2018年4月1日)
電子機械事業部事業戦略本部事業企画部長、石黒認
電子機械事業部グローバルサービス統括本部長、グループ運営戦略室長、内野敏幸
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング本部長、矢野雅彦
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング部長、高道健
生産統括本部量産設計本部第三成膜装置設計部長、竹林雄二
生産統括本部製造本部生産技術部長、高島克美
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(2017年4月1日)
経営戦略室長（経営戦略統括本部スマトラ推進プロジェクトリーダ）関忠彦
法務・ＣＳＲ本部長兼法務室長（経営戦略統括本部ＣＳＲ本部戦略法務室長）奥吉章二
法務・ＣＳＲ本部広報室長、佐々木和哉
法務・ＣＳＲ本部コンプライアンス室長（経営戦略統括本部ＣＳＲ本部広報室長）長、岡実
経理本部東京経理部長、経理本部副本部長、小野寺隆
経理本部財務部長、有田昌弘
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