(2023年4月1日)
監査役（SCREENホールディングス経理・財務室経理部長）西垣正朗
退任（監査役）吉川敦則
CSR統轄部統轄部長、執行役員事業統轄部長兼経営推進部長、岡本昭彦
CSR統轄部安全保障貿易管理部長（CSR部長）小松裕樹
CSR統轄部安全衛生推進部長、内田伸
CSR統轄部ESG推進部長、吾子健一郎
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(2022年4月1日)
上席執行役員GSO担当兼SCREENSPEUSA会長（執行役員営業担当兼グローバルセールス統轄部長兼アジア営業兼欧米星営業部長）成瀬務
上席執行役員SCM担当兼ポストセールス統轄部長（執行役員製造担当）長谷川公二
CSR担当兼事業統轄部経営推進部長（HR・インフラ担当）執行役員事業統轄部長兼戦略人事部長、岡本昭彦
執行役員製造担当、びわこ工場長、小條泰弘
CSR部長、小松裕樹
マネジメントシステムサポート部長（品質統轄部EHS推進部長）渋川潤
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(2021年4月1日)
SCREENSPETaiwan董事長兼総経理、代表取締役兼社長執行役員、後藤正人
経営戦略担当、取締役兼常務執行役員経営戦略統轄部長、石村学
技術開発担当、常務執行役員技術管理統轄部長、田中真人
ポストセールス担当（SCREENSPETaiwan董事長兼総経理）執行役員、西田啓二
営業担当（グローバルセールス統轄部アジア営業一部長）執行役員グローバルセールス統轄部長、成瀬務
製造担当（ST統轄部長）執行役員、長谷川公二
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(2020年4月1日)
執行役員ST統轄部長（シニア・テクニカル・マネジメントSCM統轄部長兼貿易統轄部長）長谷川公二
マーケティング部長、杉本洋昭
HR・インフラ統轄部インフラ推進部長、山本大介
経営戦略統轄部業務改革推進部長、小林知之
グローバルセールス統轄部副統轄部長、欧米星営業部長、黒川慶之
ST統轄部副統轄部長（貿易統轄部副統轄部長）ポストセールス部長、赤井文昭
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