(2017年6月下旬)
取締役、岩本直樹
取締役（常勤監査役）大塚忠彦
取締役（監査役）金子健紀
取締役（監査役）金沢健一
顧問（取締役）嶋村清
退任（取締役）河合芳道
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(2015年6月26日)
経営戦略本部管掌、社長兼社長執行役員、牛田一雄
財務・経理本部管掌（経営戦略本部管掌）取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ、伊藤純一
マイクロスコープ・ソリューション事業部・産業機器事業部管掌、取締役兼常務執行役員、岡本恭幸
ＦＰＤ装置事業部・ガラス事業室・エンコーダ事業室管掌（マイクロスコープ・ソリューション事業部・産業機器事業部管掌）取締役兼常務執行役員コアテクノロジー本部長、大木裕史
常勤監査役（取締役兼常務執行役員財務・経理本部管掌）橋爪規夫
顧問（常勤監査役）河合芳道
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