(2019年4月1日)
専務執行役員（執行役員）管理本部長、安高純一郎
専務執行役員（執行役員）グローバル事業本部長、本郷仁基
専務執行役員（執行役員）事業本部長、黒田健治
常務執行役員事業本部担当（執行役員装置事業部長）藤原五男
常務執行役員（執行役員）CTO研究開発本部長、平賀靖英
常務執行役員事業本部担当（執行役員事業本部長）市原雄一
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(2015年4月1日)
ＣＴＯ研究開発本部長（新事業開発・開発本部担当）取締役兼執行役員、平賀靖英
海外事業本部長（事業本部営業）同兼執行役員、本郷仁基
執行役員、事業本部関東事業部長、河本行広
同、管理本部総務兼人事・、印南静男
同ＩＲ・広報担当、同経理・、藤本靖博
執行役員、同経営企画・、兼子利憲
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(2012年4月1日)
代表取締役国内・海外事業担当（取締役事業本部長）副社長執行役員、橘勝義
調達・生産担当（生産本部長兼購買担当）取締役兼執行役員、坂本広徳
事業本部長（事業本部長代理兼太陽電池事業・事業本部エンジニアリング室担当）取締役兼執行役員、田中敏治
事業本部装置事業部長兼第二装置（第一事業部長）執行役員、藤原五男
新事業開発担当（技術本部新商品開発担当）同、平賀靖英
事業本部長代理（管理本部人事）同、大田謙次
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