(2021年4月1日)
執行役員（装置事業部プロダクト技術第一部長）装置事業部長、渡辺栄作
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(2014年4月1日)
第一装置事業部長（開発統括部門長兼プロセス開発Ｃ所長兼プロセス開発第二）取締役、辰巳徹
第二装置事業部長（開発統括副部門長兼コンポーネント開発Ｃ所長）執行役員、吉田達彦
フィールドＳＬ事業部長（フィールドＳＬ事業Ｃ所長）同、藤井隆博
第一装置事業部副事業部長（販売統括Ｃ所長）吉原誠
同兼半導体制御開発（商品開発Ｃ副所長兼制御開発）関根正信
第二装置事業部副事業部長兼ストレージ開発（商品開発Ｃ所長）石原雅仁
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(2013年8月19日)
開発統括部門プロセス開発センタープロセス開発第二（開発センター所長）取締役開発統括部門長兼プロセス開発センター所長、辰巳徹
プロダクトマーケティング室長（営業センター副所長兼営業第一）福永勉
同室プロダクトマーケティング（開発統括部門プロセス開発センタープロセス開発第二）中川隆史
副所長（開発統括部門開発管理センター副所長兼開発管理第二）三好歩
半導体・パネル技術販売、渡辺栄作
ストレージ技術販売、榑松保美
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(2012年4月1日)
執行役員東日本営業本部担当、関東上信越本部長、渡辺栄作
執行役員西日本営業本部担当、関西本部長、前場俊宏
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