(2019年4月1日)
事業企画本部長兼グローバル事業推進部長、事業戦略部長、田中一寿
営業本部協創イノベーション営業部長、北川達也
営業本部パートナー事業推進センタ長（ソリューション統括本部営業本部協創イノベーション営業部長）小川一宏
営業本部東日本支社北海道支店長、西村耕一
営業本部西日本支社中国支店長、新宮浩一
モノづくり統括本部業務プロセス統制室長（モノづくり本部生産管理部長）南勝実
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(2018年4月1日)
電子機械事業部事業戦略本部事業企画部長、石黒認
電子機械事業部グローバルサービス統括本部長、グループ運営戦略室長、内野敏幸
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング本部長、矢野雅彦
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング部長、高道健
生産統括本部量産設計本部第三成膜装置設計部長、竹林雄二
生産統括本部製造本部生産技術部長、高島克美
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(2017年4月1日)
経営戦略室長（経営戦略統括本部スマトラ推進プロジェクトリーダ）関忠彦
法務・ＣＳＲ本部長兼法務室長（経営戦略統括本部ＣＳＲ本部戦略法務室長）奥吉章二
法務・ＣＳＲ本部広報室長、佐々木和哉
法務・ＣＳＲ本部コンプライアンス室長（経営戦略統括本部ＣＳＲ本部広報室長）長、岡実
経理本部東京経理部長、経理本部副本部長、小野寺隆
経理本部財務部長、有田昌弘
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