(2019年6月20日)
会長（社長）CEO、滝沢利一
社長兼COO（副社長執行役員）本坊吉博（ほんぼう よしひろ）
取締役兼上席専務執行役員（専務兼専務執行役員）CCO、黒川清敬
取締役兼CTO兼CQO（研究開発本部長兼知的財産・品質保証・リサイクルウエハー事業担当）専務執行役員、青木睦郎
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