(2019年3月28日)
専務執行役員（取締役兼専務執行役員）社長室長兼経営企画部長、井上文夫
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）営業本部長、阿波俊弘
退任（取締役）片浜久
執行役員、設備技術部長、高橋和也
執行役員、営業本部副本部長兼海外営業部長、佐々木康陽
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(2016年3月29日)
会長兼ＣＥＯ（社長）橋本真幸
社長兼ＣＯＯ（副社長）滝井道治（たきいみちはる）
副社長（取締役兼専務執行役員）遠藤晴充
取締役、新日鉄住金関係会社部上席主幹、前川晋
取締役（監査役）吉川博
取締役（監査役）片浜久
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(2015年3月25日)
取締役経営企画（財務）常務執行役員、井上文夫
取締役、三菱マテリアル電子材料事業カンパニーシリコン事業部長、目代史朗
監査役（技監）片浜久
同、新日鉄住金経営企画部上席主幹兼関係会社部上席主幹、上原学
退任（取締役）土屋洋一
同（同）太田啓武
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(2015年3月下旬)
監査役（ＳＵＭＣＯ技監）片浜久
退任（監査役）保坂秀政
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