(2022年10月1日)
事業本部第三ビジネスユニット長兼装置第二事業部長（第四ビジネスユニット長兼デバイスセンター長）執行役員、平川武則
研究開発本部長（事業本部第三ビジネスユニット長兼装置第一事業部長）執行役員、西村茂春
事業本部第四ビジネスユニット長兼デバイスセンター長（第三ビジネスユニット装置第二事業部長）執行役員、戸田和博
事業本部第三ビジネスユニット装置第一事業部長（装置第一事業部副事業部長）バイオ機器部長、村上正剛
事業本部ビジネスユニット装置第二事業部副事業部長、生産計画部長、衛藤隆二
研究開発本部研究開発（グローバル事業本部事業推進部次長）矢野貴裕
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