(2022年4月1日)
バリューチェーンソリューション事業統括本部副統括本部長（Lumada事業推進室長兼産業ソリューション事業統括本部副統括本部長）専務執行役員兼CLBO、三浦英俊
専務執行役員バリューチェーンソリューション事業統括本部長（常務執行役員兼CDO）CMO兼DXプロジェクト本部長、谷口昌弘
専務執行役員兼CSO経営戦略本部長（常務執行役員兼CTOイノベーション推進本部長）禰寝義人
CDO兼DXプロジェクト副本部長、常務執行役員アナリティカルソリューション事業統括本部長兼ライフ&メディカルシステム営業本部長、高木由充
CHRO兼CRO人事総務本部長（日立製作所人財統括本部システム&サービスCHRO兼人事総務本部長）飯塚毅
常務執行役員ナノテクノロジーソリューション事業統括本部長（執行役員ナノテクノロジーソリューション事業統括本部副統括本部長兼評価解析システム製品本部長）小室修
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(2020年7月17日)
会長（顧問）大森紳一郎
社長兼社長執行役員（取締役兼執行役社長）宮崎正啓
代表取締役兼副社長執行役員（執行役副社長）佐藤真司
代表取締役兼副社長執行役員（執行役副社長）DXプロジェクト副本部長、本田穣慈
取締役兼常務執行役員（執行役常務）CFO財務本部長兼DXプロジェクト副本部長、桜井真司
取締役、日立製作所執行役副社長ライフ事業統括本部長、小島啓二
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(2020年4月1日)
執行役副社長（執行役専務）本田穣慈
執行役専務（執行役常務）飯泉孝
執行役専務（執行役常務）石和太
執行役常務（執行役）家次晃
執行役常務（執行役）加藤仁
執行役常務（執行役）唐沢和男
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(2016年4月1日)
執行役専務（執行役常務）宇野俊一
執行役常務（執行役）本田穣慈
執行役（電子デバイスシステム事業統括本部評価装置営業本部長）石和太
執行役（先端産業部材事業統括本部工業材料営業本部長） 、今西昭裕
執行役（監査室長） 、桜井真司
執行役（日立製作所インフラシステム社人事総務統括本部長兼インダストリアルプロダクツ社人事総務本部長） 、堀越久志
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