(2024年4月1日)
代表取締役兼社長執行役員兼SCREENElectronicsShanghai董事長兼SCREENSPETaiwan董事長（執行役員事業統轄部長兼経営推進）CSR統轄部長、岡本昭彦
取締役（代表取締役兼社長執行役員兼SCREENElectronicsShanghai董事長兼SCREENSPETaiwan董事長）後藤正人
DX担当兼IT統轄部長、取締役兼常務執行役員経営戦略統轄部長、石村学
退任（取締役）石川義久
常務執行役員装置戦略担当（上席執行役員SCM担当）長谷川公二
生産・SCM・PS担当（製造担当）執行役員、小條泰弘
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(2021年4月1日)
SCREENSPETaiwan董事長兼総経理、代表取締役兼社長執行役員、後藤正人
経営戦略担当、取締役兼常務執行役員経営戦略統轄部長、石村学
技術開発担当、常務執行役員技術管理統轄部長、田中真人
ポストセールス担当（SCREENSPETaiwan董事長兼総経理）執行役員、西田啓二
営業担当（グローバルセールス統轄部アジア営業一部長）執行役員グローバルセールス統轄部長、成瀬務
製造担当（ST統轄部長）執行役員、長谷川公二
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(2020年7月1日)
経営戦略統轄部経営管理部長、上月浩平
（経営戦略統轄部・経営管理部長）取締役・常務執行役員経営戦略統轄部長、石村学
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(2020年6月22日)
取締役兼常務執行役員（執行役員）経営戦略統轄部長兼経営管理部長、石村学
取締役、SCREENホールディングス常務兼最高財務責任者、近藤洋一
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