(2016年1月1日)
技術開発本部機器要素開発、コア技術開発センター・、木口浩史
同コア技術開発センター、分析リサーチセンター・、伝田聡
マイクロデバイス事業部ＩＣ実装検査、マイクロデバイス事業部副事業部長、竹中計広
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(2015年2月1日)
マイクロデバイス事業部ＩＣ生産技術、マイクロデバイス事業部副事業部長、竹中計広
人事本部人事、中島紀彦
マイクロデバイス事業部デバイス管理、阿部浩二
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